2021-10-26 15:04:38
本文關鍵字：質(zhì)量流量控制器

　　質(zhì)量流量控制器外殼由金屬制成，可高度配置。可長期穩(wěn)定性和可重復的測量和控制質(zhì)量流量，具有優(yōu)異的精度、寬動態(tài)范圍、數(shù)字和模擬接口、靈活機械連接選項、多氣體配置等等特點，還可覆蓋寬動態(tài)測量范圍。

　　質(zhì)量流量控制器可使用各種電氣接口和各種流體連接件，測量50 sccm到200 slm的流量。傳感器信號可在芯片上直接轉(zhuǎn)換成100%校準和經(jīng)溫度補償?shù)臄?shù)字信號。多氣體校準可存儲在單個器件上。此外，流量控制器還可檢查激活的氣體校準與實際氣體是否匹配。

　　質(zhì)量流量控制器依賴創(chuàng)新的CMOSens技術，與所有傳感器產(chǎn)品一樣，在一個CMOS硅芯片上集成了模擬和數(shù)字處理電路及高精度傳感器元件，可保證優(yōu)異的性能。配合優(yōu)質(zhì)材料，可實現(xiàn)穩(wěn)定、快速和高度精確的流量控制。同時其通用性使之成為了工業(yè)和醫(yī)療應用的合適的解決方案，由此可以在醫(yī)療行業(yè)中得到較廣的應用。比如可在這些場所中應用：分析儀器如氣相色譜、質(zhì)譜、熱分析；工業(yè)過程自動化如涂覆、熱處理；半導體行業(yè)如等離子蝕刻工藝、薄膜沉積；醫(yī)療器械如呼吸機、麻醉機。